1. 光学薄膜フィルターとは

光学薄膜フィルターとは、特定の波長範囲の光を透過させる、または、反射（カット）させる機能の薄膜が付いたコーティング製品（フィルター）のことをいいます。
数種類の屈折率の異なる薄膜の組み合わせにより、光の反射や干渉を利用したフィルターとなり、数十～数百層の積層となります。主にガラス基材に真空蒸着法や、IAD（Ion Assisted Deposition）法により作製します。数層であるARコート（反射防止膜）品と比較すると作製には多くの時間を要することになります。
用途としては、余分な光をカットできるため、特定の波長のみを検出する検査装置や、レーザー装置等に使用されています。
代表的な光学薄膜フィルターにバンドパスフィルターがありあますが、以下の様なイメージとなります。　

2. 光学薄膜フィルターの種類

光学薄膜フィルターは、大きく分けると以下の4種類となります。使用したいシーン(要望)に合わせて選択します。

バンドパスフィルター

エッジフィルター

ダイクロイックフィルター

ノッチフィルター(バンドストップフィルター)

3. 光学薄膜フィルターの膜構成

基本的な光学薄膜フィルターの膜構成は、高屈折率層(H)と低屈折率層(L)を繰り返す交互層(H  L)の積み重ねにより設計します。この設計は、専用の光学薄膜シミュレーションソフトを用いて行うことになりますが、特性の種類によって基本的な構成はおおよそ決まっております。
例として、バンドパスフィルター(シングルキャビティ―)の膜構成を以下に挙げます。

基材＝ガラス、H＝高屈折率層（TiO₂）、L＝低屈折率層（SiO₂）、m＝定数
（シミュレーションの屈折率：n(基材)=1.52、n(H)=2.30、n(L)=1.46）
とすると、以下の16層膜の構成で以下の様な光学特性（透過率）となります。

膜構成 ： 基材 ｜ (H  L)³   H   (2 × m)L   H   (L  H)³   2L ｜ 空気（16層）

定数mのスペーサー層の膜厚により、バンドバスフィルターの透過帯域幅が変化します。

4. 最近の動向

最近では、紫外線照射装置（殺菌、滅菌）用の紫外線バンドパスフィルター/エッジフィルターや、車載用のLiDARセンサー用の近赤外域バンドパスフィルターとしての要望も多くなってきています。光を操作・活用する様々な新規製品に光学薄膜フィルターの活躍の場が広がって来ております。

ニデックでは、紫外域~可視域~赤外域までと幅広い波長範囲へ光学薄膜フィルターの対応をしております。また、コート → ダイシングカットまでの対応と、一品からの対応もしております。（サイズはご相談）
光学薄膜フィルターについて、お困りの際、ご検討の際は、お気軽にお問い合わせください。

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