1. 光学薄膜フィルターとは？

光学薄膜フィルターとは、特定の波長の光を透過させたり、反射（カット）したりする機能を持つ、薄膜コーティングを施したフィルターのことです。

このフィルターは、数種類の屈折率が異なる薄膜を積層することで、光の反射や干渉の原理を活かして機能します。数十層から数百層にも及ぶ構造になっており、主にガラス基材に対して、真空蒸着法やイオンアシスト蒸着（IAD: Ion Assisted Deposition）法などを用いて製造されます。

多層膜となるため、少数層で構成されるARコート（反射防止膜）と比べると、製造に多くの時間を要します。

用途としては、不要な波長の光をカットできる特性から、特定波長の光のみを検出する検査装置や、レーザー装置などに使用されています。

光学薄膜フィルターの代表例としては「バンドパスフィルター」があり、以下のイメージの透過特性を持ちます。　

2. 光学薄膜フィルターの種類

光学薄膜フィルターは、大きく分けて以下の4種類に分類されます。
目的や用途に応じて、適切な種類を選択します。

バンドパスフィルター

エッジフィルター

ダイクロイックフィルター

ノッチフィルター(バンドストップフィルター)

3. 光学薄膜フィルターの膜構成

光学薄膜フィルターの基本構成は、高屈折率層（H）と低屈折率層（L）を交互に積層することで設計されます。このような交互層（H-L）の構造は、専用の光学薄膜設計ソフトを用いて設計され、フィルターの種類に応じて基本的な構成がある程度決まっています。

以下に、バンドパスフィルター（シングルキャビティー）の膜構成例を示します。

・基材：ガラス
・H（高屈折率層）：TiO₂（n = 2.30）
・L（低屈折率層）：SiO₂（n = 1.46）
・基材の屈折率：n = 1.52
・m：スペーサー層の定数

この構成により、以下のような16層の膜設計になります。

膜構成 ： 基材 ｜ (H L)³ H (2 × m)L H (L H)³ 2L ｜ 空気（16層）

なお、中央のmを定数とするスペーサー層（(2 × m)L）の膜厚を調整することで、バンドパスフィルターの透過帯域幅をコントロールすることができます。

4. お問合せ

最近では、紫外線照射装置（殺菌・滅菌）用のUVバンドパスフィルター／エッジフィルターや、車載LiDARセンサー用の近赤外バンドパスフィルターへのニーズが高まっています。光を制御・活用する新たな製品群において、光学薄膜フィルターの活躍の場はますます広がっています。

１個から試作対応可能

ニデックでは、紫外域から可視域、赤外域まで幅広い波長範囲に対応した光学薄膜フィルターを提供しています。コーティングからダイシングカットまで一貫対応しており、サイズや数量も柔軟にご相談いただけます。
また、1個からの試作対応も承ります。
お困りの際やご検討の際は、お気軽にお問い合わせください。

※全ての画像はイメージです。

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