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平坦度測定機(フラットネステスター)

平坦度測定機(フラットネステスター)

ウェーハ、金属片、ディスク、透明体、機械部品など、様々なサンプル測定が可能。
薄物・厚物に対応した方法で、本来の形状を測定・解析する平坦度測定機。

※詳細ページへのリンク先は別サイト(ニデック コーポレートサイト)となります。


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    フラットネステスター FT-17

    小型卓上タイプ。
    対応サイズφ130 mm 以下(平坦度φ100 mm 以下)。
    解析有り・無しの選択が可能。

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    フラットネステスター FT-900

    φ200 mm までのウェーハサイズに対応。
    スライスから膜付けまで各工程の検査評価や、角型・異形状サンプルの測定に対応。

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