ARコートの基礎知識 - 反射防止膜の処理方法と選び方 --コーティング豆知識

AR コート（反射防止膜）について、「どんな方法で加工していますか？」「どんな成膜方法を選べばよいですか？」といったお問い合せを多くいただきます。
今回は、AR コートの代表的な処理方法や選定のポイント、仕様の決め方について解説し、あわせてニデックのAR コート技術もご紹介します。
AR コートをご検討の際のご参考になれば幸いです。

1. ARコートの処理方法とメリット・デメリット

ARコートの処理方法は、大きく「乾式法（ドライ）」と「湿式法（ウェット）」の2つに分類され、それぞれに複数の成膜方法があります。以下の表では、各方法のメリットとデメリットを比較しています。

処理方法		メリット	デメリット
乾式法 (ドライ)	真空蒸着	多層コートが容易成膜材料を選ばない乾式法の中では成膜装置・成膜材料が安価成膜速度が速い	膜が低密度になりやすい条件によっては高温処理が必要
	スパッタリング	膜が高密度再現性が高い付き回りが良好	誘電体は不得意成膜装置・成膜材料が高価成膜速度が遅い
	イオンアシスト（IAD）	膜が高密度多層コートが容易様々な成膜材料が使用可能成膜速度が比較的高速	成膜装置・付属品が高価膜応力が大きい設定条件が多く、処理が複雑
	化学気相成長（CVD）	付き回りが良好	原料ガスに制約がある低温処理の場合は低密度膜になりやすい
湿式法 (ウェット)	ダイ	湿式法の中では膜厚の均一性が良好塗工効率が良い大面積の対応が容易	完全平板形状のみの対応（フィルム、シートのみ）
	スプレー	形状対応が可能	飛散塗料があり、塗工効率が課題
	ディップ	両面の同時加工が可能湿式法の中では外観品質が良好	塗工分以上に塗料が必要
	フロー	塗工速度が速い塗料ロスが少ない	形状により膜厚分布が課題薄い膜は不得意

2. AR コート処理方法の選定ポイント

AR コートの処理方法を選ぶ際には、製品の要求仕様やコスト、形状など複数の要素を総合的に検討する必要があります。選定時に押さえておきたい主要なポイントを解説します。

①反射率特性による選定

乾式法は高性能ですが、装置が高価で加工時間も長く、コストが高くなります。
参考：数層の反射防止膜は「LRコート（Low Reflective Coating）」、3層以上の低反射の反射防止膜は「ARコート（Anti-Reflective Coating）」と呼ばれる場合があります。

②材料・形状による選定

ARコートはナノオーダー（nm）の膜厚で均一性が求められるため、基材や形状、サイズにより適用できる方法が異なります。

3. ARコートの仕様の決め方

ARコートの仕様検討のポイントとなる「反射率仕様」と「入射角仕様」について解説します。

①反射率仕様

ARコートの仕様は、特定の波長範囲における反射率や透過率で規定されます。

・片面反射率　R≦0.5%　@λ＝500～600 nm　AOI＝0°
・両面反射率　R≦1.0%　@λ＝500～600 nm 　AOI＝0°
・透過率　　　T≧98.0%　@λ＝500 ～600 nm 　AOI＝0°

ポイント
仕様を決める際は、どの指標（片面反射率、両面反射率、透過率）を基準にするかを明確にすることが重要です。特に透過率を重視する場合、ARコートを施す基材の透過率も考慮する必要があります。さらに、紫外線や赤外線領域では、基材の吸収波長を把握しておかないと、期待する性能が得られない可能性があります。

②入射角仕様

使用用途により、入射角（AOI：Angle of Incidence）を設定する必要があります。これは、反射防止をしたい光の入射角によりARコートの膜厚、および特性が変化し、入射角に合わせたARコートの設計が必要となるためです。（下図「ARコート片面反射率特性」参照）

ポイント
一般的に指定がない場合は AOI＝0°で検討しますが、実測では AOI＝8°や12°で代用されます。入射角が大きくなると、偏光（p偏光・s偏光）の差が顕著になります。偏光を扱う光学部品では、p偏光、s偏光、ランダム光（p＋s）についても仕様検討が必要です。

AOI＝0°,5°,10°,15°,20°,30°,45°, 50°, 55°ランダム光のARコート片面反射率特性

4. ニデックのARコート技術と特長

ニデックでは、用途や仕様に応じて2種類のARコート処理方法を提供しています。

このうち「Lequa-Dry」は、以下の2タイプをラインアップしています

また、以下の設備により、創業当初から培った高精度な真空蒸着技術で加工しています。

処理方法	ニデックの製品ラインアップ	最大加工サイズ	特長・用途
乾式法 (ドライ) ・真空蒸着	Lequa-Dry (レクアドライ) スタンダード	・1000 × 600 × 70 mm	・低反射・特性のカスタマイズ可能【用途】　　シート、フィルム、　　レンズ、成形品、　　各種モニターなど
乾式法 (ドライ) ・真空蒸着	Lequa-Dry (レクアドライ) ハイグレード	・1000 × 600 × 70 mm	・高耐久物性・低反射・特性のカスタマイズ可能【用途】　　シート、フィルム、　　レンズ、成形品、　　各種モニターなど
湿式法 (ウェット) ・ダイ	Lequa-Wet (レクアウェット)	2種類のPMMA平板のみ・1400 × 1200 × 2 mm ・1400 × 1200 × 3 mm	・大面積・安価【用途】　　テレビガード、　　大型モニターなど

5. お問合せ

ARコートは、製品の性能や品質に関わる技術ですが、その性能を引き出すためには、処理方法から仕様まで、最適な選択が必要となります。
ニデックでは、ARコートの豊富なラインアップと技術的な知見をもとに、お客様のニーズに合わせたご提案を行っております。
ARコートに関するご相談やご質問がありましたら、お気軽にお問い合わせください。
内容を確認のうえ、ご要望に最適なご提案をさせていただきます。

形状	処理方法
形状	乾式法（ドライ）	湿式法（ウェット）
シート、フィルムなどフラット形状	真空蒸着スパッタリングイオンアシスト（IAD）	ダイ（大面積）
レンズなどの湾曲した形状	真空蒸着イオンアシスト（IAD）	ディッピング